高精度線形レールの精度に影響する要因は何ですか?
高精度の線形レール(通常、半導体製造、精密試験装置、ハイエンド工作機械、その他のシナリオ、C5以上の精度レベルで使用され、複数のリンクの要因による厳格な制約の精度の精度の精度を繰り返し繰り返し、通常のガイドよりも複雑で敏感であることがあります。
まず、影響要因の製造チェーンの中核
1.材料と熱処理プロセス
材料の均一性:
ゆるい、隔離または非金属包含物の材料の内部存在(影響する可能性のある5μmを超えるサイズ>5μm)の場合、主に高炭素クロムベアリングスチール(SUJ2など)またはセラミック材料を使用して体を導きます。破損.
熱処理精度:
硬化プロセス中に温度が適切に制御されていない場合(加熱速度の変動±5度など)、ガイドレール表面(HRC {58-62}以下の偏差が不均一になり、局所摩耗抵抗の差が不均一な摩耗と長期操作の後の耐摩耗性をもたらします。そして、強化だけでは不十分な内部応力であり、時間の経過とともにガイドレールの少量の変形をもたらします(年間の各メートルの長さの変形> 0 . 002mmは精度に影響します). 0.002 mmの年間長さの年間変形は精度に影響します)。
2.精度加工プロセス
ガイドレール断面マイクロエシジョン:
ガイドレールレースウェイ曲率耐性の半径は、±0 . 001mm(±0.01mmの通常のガイド)で制御する必要があります。データムプレーンのガイド側には、0.002mm/100mm以下(0.01mm/100mm以下の通常のガイド)が必要です。そうしないと、インストールをインストールできません。ガイドは. 100 mmを使用できません)。
研削プロセスの安定性:
精密ガイドウェイの最終処理は、粉砕ホイール摩耗が均一でない場合(1時間あたりの摩耗> 0 . 002mmなど)、飼料の変動(±0.001mm以下)の変動(±0.001mm以下)の場合(±0.001mm以下)、Upect the Guids the Muids the Muids the Muids the Muids the Muids the Muids the Muids the Muids the Muids the Muids the Muids the Muids the Guids the Guide the Guide the Guide the Guide the Guide the guid the guid the guid the sultion 0.1μm/25mm)、スライダーの動作の滑らかさに直接影響します。
3.アセンブリとペアリングの精度
精密ガイドレールは通常、「レール - スライダー」ペア研削プロセスを使用します。スチールボールの直径の耐性(±0 {. 0005mm以下の要件)が一貫していない場合、スライダーの循環チャネルの位置偏差(±0 .}}以下のsewen ineven fuce futs in even in est in ever in sult in est fort in the ever in est in ever in the sclute環状振動(0.001mm以下の振幅)。 (振幅は0.001mm以下)、位置決めの精度の再現性を低下させます。
第二に、インストールと試運転要因
1. installation datum precision:
ガイドレールのベースの設置は、平坦性が0 {.} 005mm/100mm以下である必要があります(通常のシーンは0 . 02mm/100mm以下です)。ベース表面の粗さはRA0.8μm以下である必要があります。そうしないと、局所応力との不均一な接触により、ボルトが締められます。それ以外の場合、ボルトが締められると、不均一な接触により局所的な応力が生成されます。
複数のガイドレールをスプライシングする場合、高さの差(0 {.} 002mm以下)および関節での不整合(0.003mm以下)を厳密に制御する必要があります。そうしないと、スライダーが関節を通過すると衝撃があり、その結果、正確な瞬時変動が生じます。
2.インストール固定方法:
不均一なボルトプリロード(推奨トルクレンチ制御、±5%以下の誤差)は、ガイドレールの局所曲げにつながります。ボルトの間隔が大きすぎる(300mm以上)場合、長期にわたる動作後の振動のために緩められる可能性があり、位置決めエラーが蓄積されます.
固定方法のガイドとベース(接着補助固定など)接着層の厚さが均一でない場合(偏差> 0 . 002mm)、トレースチルトガイドにつながり、まっすぐに影響します。
3.並列性と同軸調整:
ダブルガイドがインストールされると、並列性エラーは0 . 003mm/500mm以下である必要があります(共通シーンは0.01mm/500mm以下です)。そうしないと、スライダーの両端の力が不均衡になり、追加の摩擦トルクが生成され、トラックオフセットを実行します。
ドライブシステム(E {.} g .ボールスクリュー)を使用して、同軸偏差(0 . 005mm以下)を使用して、駆動力の方向オフセットにより横方向の力を生成し、ガイドウェイの運動精度を破壊します。
第三に、環境要因の使用
1.温度変動:
精度ガイドは温度変化、1度の周囲温度変動に非常に敏感です。ガイド(鋼)は、0 . 011mm / mの変化の長さの熱膨張と収縮によるものです(11×10-}}の線形膨張の係数があります。半導体リソグラフィ、周囲温度は、ガイドの熱変形を避けるために23±0.1度で制御する必要があります。
2.振動とショック:
外部振動(地上振動加速度> 0 . 01gなど)は、マイクロスライド(振幅> 0.0005mm)の間のガイドとスライダーにつながり、静的位置決めの精度を低下させます。頻繁な衝撃(機械加工装置の切断力の変動など)は、鋼球の摩耗とレースウェイを加速し、時間の使用の精度を急速に減少させます。
3.清潔さと潤滑:
環境内のほこり(粒子サイズ> 0 .5μm)レースウェイへの粉砕は、スチールボールとレースウェイの研削摩耗、短期的な精度の低下につながります。グリース純度(0.001mm以下の不純物粒子)と充填(100kmの手術ごとに時間を補充する)は十分ではなく、摩擦を悪化させ、循環精度偏差をもたらします。
第四に、材料と損失要因の使用
1.材料の安定性:
Insufficient aging treatment of guideway material (e.g. residual stress >50MPa) will produce slow deformation (annual deformation >0 . 002mm/m)長期使用での応力放出により、精密ドリフトが発生します。
2.摩耗と疲労:
理想的な労働条件下でさえ、鋼球とレースウェイの間の接触応力(最大3000mpa以上)が小さな摩耗につながり、100kmの蓄積動作の後、繰り返しの位置決めの精度は0.001-0.002 mmによって減少する可能性があります。オフロード(ロードオフセット中心> 5mm)がある場合、摩耗は悪化し、精密な低下の速度は3-5倍.倍に増加します。
要約すると、の精度 高精度線形 Railsは、「製造精度 - 設置制御 - 環境管理 - 使用とメンテナンス」のチェーン全体の相乗効果の結果であり、リンクの小さな偏差は最終的な精度エラーを拡大する可能性があるため、設計とアプリケーションの制御プロセス全体を実行する必要があります.
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